日本NAGANOSEIKI長野化學兼容壓力變送器KL92-276

KL92型

化學相容性壓力變送器

用于與化學品兼容的O型無圈結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體制造設(shè)備

本儀器為含氟聚合物膜片密封壓力變送器。 采用O型無圈結(jié)構(gòu)，減少了污染和

金屬洗脫的發(fā)生，適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備領(lǐng)域的壓力監(jiān)測應(yīng)用。

長處

?接液部件由全氟聚合物（PFA、PTFE）制成，具有減少污染發(fā)生的結(jié)構(gòu)。

?提高對氫氟酸等腐蝕性化學品的抵抗力。

?外殼防護結(jié)構(gòu)為IP54，體積小，樹脂本體滿足濕工站應(yīng)用需求。

日本NAGANOSEIKI長野化學兼容壓力變送器KL92-276

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